磁控镀膜中，氧气、氩气，分别起什么作用？气体的多少色彩有什么变化？-冷知识百科

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磁控镀膜中，氧气、氩气，分别起什么作用?气体的多少色彩有什么变化？

氩气：工作气体，该气体在工业生产中离子清洗时和镀膜时都用到，主要作用是轰击靶材。（辉光，蓝色）氧气：反应气体，该气体一般用于反应溅射镀膜中，像镀ITO/SIO2等，还有做其他颜色膜层时都会用到的，主要作用是与溅射出来的靶微粒反应，生产**物。（辉光，红紫色）顺便给你说一下另外的氮气：反应气体，一般做颜色膜层时用到，或者破真空时用到。（辉光，**）氦气：检漏用。光是由于电子跃迁产生的，物质一定，在一定的范围内颜色不变。

溅射靶材的主要应用？

磁控镀膜中，氧气、氩气，分别起什么作用？气体的多少色彩有什么变化？

溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子***件等；亦可应用于玻璃镀膜领域；还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。分类根据形状可分为长靶，方靶，圆靶，异型靶根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材根据应用不同又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材磁控溅射原理：在被溅射的靶极(*极)与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气)，永久磁铁在靶材料表面形成250～350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下，Ar气电离成正离子和电子，靶上加有一定的负高压，从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在*极附近形成高密度的等离子体，Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的**遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。磁控溅射一般分为二种：支流溅射和射频溅射，其中支流溅射设备原理简单，在溅射金属时，其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛，除可溅射导电材料外，也可溅射非导电的材料，同时还司进行反应溅射制备**物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射，常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。磁控溅射镀膜靶材：金属溅射镀膜靶材，合金溅射镀膜靶材，陶瓷溅射镀膜靶材，硼化物陶瓷溅射靶材，碳化物陶瓷溅射靶材，氟化物陶瓷溅射靶材，氮化物陶瓷溅射靶材，**物陶瓷靶材，硒化物陶瓷溅射靶材，硅化物陶瓷溅射靶材，硫化物陶瓷溅射靶材，碲化物陶瓷溅射靶材，其他陶瓷靶材，掺铬一**硅陶瓷靶材(Cr-SiO)，磷化铟靶材(InP)，砷化铅靶材(PbAs)，砷化铟靶材(InAs)。高纯高密度溅射靶材有：溅射靶材（纯度：99.9%-99.999%） 1.金属靶材：镍靶、Ni、钛靶、Ti、锌靶、Zn、铬靶、Cr、镁靶、Mg、铌靶、Nb、锡靶、Sn、铝靶、Al、铟靶、In、铁靶、Fe、锆铝靶、ZrAl、钛铝靶、TiAl、锆靶、Zr、铝硅靶、AlSi、硅靶、Si、铜靶Cu、钽靶T、a、锗靶、Ge、银靶、Ag、钴靶、Co、金靶、Au、钆靶、Gd、镧靶、La、钇靶、Y、铈靶、Ce、钨靶、w、不锈钢靶、镍铬靶、NiCr、铪靶、Hf、钼靶、Mo、铁镍靶、FeNi、钨靶、W等金属溅射靶材。 2.陶瓷靶材 ITO靶、AZO靶、**镁靶、**铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、**铬靶、**锌靶、硫化锌靶、二**硅靶、一**硅靶、**铈靶、二**锆靶、五**二铌靶、二**钛靶、二**锆靶，、二**铪靶，二硼化钛靶，二硼化锆靶，三**钨靶，三**二铝靶五**二钽，五**二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶，氮化硅靶，氮化硼靶，氮化钛靶，碳化硅靶，铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、**镍靶等陶瓷溅射靶材。 3.合金靶材镍铬合金靶、镍钒合金靶、铝硅合金靶、镍铜合金靶、钛铝合金、镍钒合金靶、硼铁合金靶、硅铁合金靶等高纯度合金溅射靶材。

镀膜玻璃能代替外遮阳吗？

镀膜玻璃可用用来代替外遮阳低辐射镀膜玻璃,膜层对低温物体(如人体和身边的各种物品)发出的远红外线有强烈的反射作用,因此可以控制辐射热能的流向——冬天采暖时阻挡室内热量流失；夏天制冷时阻挡外部热量进入室内降低空调冷气损失.合成中空玻璃使用是当今最好的节能玻璃,相对单片玻璃可节能70%. 热反射镀膜玻璃又叫阳光控制镀膜玻璃.顾名思义,其作用是对阳光的透过进行调节——遮挡阳光,实现节能(仅对制冷环境).它对热量最足的远红外线没有作用.节能性能明显不如Low-E玻璃! 具备上述两种功能的镀膜玻璃就是遮阳型Low-E玻璃.单纯的Low-E玻璃基本没有颜色,热反射镀膜玻璃有灰色、蓝色、绿色等,遮阳型Low-E玻璃同后者. 在线和离线是两种完全不同的镀膜方法.前者在浮法玻璃生产线上完成,膜层单一,牢固度好,可以单片使用；后者则离开了浮法生产线,在真空*极磁控溅射镀膜生产线上完成,膜层多样,隔热性能明显优于在线Low-E玻璃,但牢固度较差,不能单片使用.